专利名称
主分类
A 农业
B 作业;运输
C 化学;冶金
D 纺织;造纸
E 固定建筑物
F 机械工程、照明、加热
G 物理
H 电学
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公布日期
2023-10-24 公布专利
2023-10-20 公布专利
2023-10-17 公布专利
2023-10-13 公布专利
2023-10-10 公布专利
2023-10-03 公布专利
2023-09-29 公布专利
2023-09-26 公布专利
2023-09-22 公布专利
2023-09-19 公布专利
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专利权人
国家电网公司
华为技术有限公司
浙江大学
中兴通讯股份有限公司
三星电子株式会社
中国石油化工股份有限公司
清华大学
鸿海精密工业股份有限公司
松下电器产业株式会社
上海交通大学
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  • [发明专利]激光直接成像设备-CN202010722495.4在审
  • 魏亚菲;温延培;熊让安;祝锁;曹葵康 - 苏州天准科技股份有限公司
  • 2020-07-24 - 2020-10-02 - B23K26/362
  • 本发明提供一种激光直接成像设备,包括:底座;载台,所述载台设置在所述底座上,所述载台用于承载待蚀刻产品;载台驱动装置,所述载台驱动装置连接所述载台,以驱动所述载台沿着Y方向运动;支架,所述支架包括设置在所述载台的X方向两侧的两个立柱及连接两个所述立柱的横梁,所述横梁在竖直方向上位于所述载台的上方;对位装置,所述对位装置设置在所述支架的横梁的Y方向的一侧,用于对所述待蚀刻产品进行对位;激光装置,所述激光装置设置在所述支架的横梁的根据本发明的激光直接成像设备,能够提高蚀刻精度和蚀刻的稳定性、效率高、一致性好。
  • 激光直接成像设备
  • [发明专利]激光直接成像设备-CN202010445965.7有效
  • 龚双平;陈国军;马迪;吴景舟 - 江苏迪盛智能科技有限公司
  • 2020-05-25 - 2023-06-09 - G03F9/00
  • 本发明涉及曝光技术领域,具体涉及一种激光直接成像设备,包括:工作台,工作台的台面设置有通孔,通孔内设置有带透光孔的遮光片;激光装置,设置在工作台的台面下方并且激光装置的出光口对准通孔,用于通过通孔向曝光件发出光线形成对准标记,其中,激光装置的出光光斑面积大于透光孔的横截面面积,对准标记的大小与透光孔的大小一致;图像采集装置,设置在工作台上方,用于采集曝光件上的对准标记;计算机设备,与图像采集装置连接,用于根据图像采集装置采集到的对准标记计算曝光件的对准误差该设备解决了传统激光成像设备套筒与通孔中心不对准时导致的曝光图形不完整的现象,从而使得曝光件的双面曝光对准更加准确。
  • 激光直接成像设备
  • [实用新型]一种激光成像控制系统-CN201220076923.1有效
  • 吴国东;郭敏 - 无锡东领电子有限公司
  • 2012-03-02 - 2012-10-03 - G05B19/04
  • 本实用新型揭示了一种激光成像控制系统,所述系统包括:控制服务器、若干自动化控制客户端、若干激光直接成像装置。自动化控制客户端与所述控制服务器连接,用以为对应的激光直接成像装置提供控制参数。激光直接成像装置与对应的自动化控制客户端连接,用以通过激光扫描的方式直接将图像在PCB上成像;图像更精细,省去了用底片转移的步骤。本实用新型提出的激光成像控制系统,可高效地控制激光直接成像装置。
  • 一种激光成像控制系统
  • [发明专利]一种激光直接成像设备及激光直接成像方法-CN202211186145.6在审
  • 陈乃奇;唐怀丹 - 深圳市先地图像科技有限公司
  • 2022-09-28 - 2022-11-11 - G03F7/20
  • 本发明公开了一种激光直接成像设备及激光直接成像方法,设备包括:激光光源、准直镜、至少一个凸透镜、可转动光路反射单元、fθ透镜、处理系统、角位移测量装置以及线性位移检测装置,线性位移检测装置计算出待曝光图像的每一行中的所有待曝光像素点到本行最左边的像素点的距离值,角位移测量装置将KM个不同的距离值转化为KM个不同的角位移并发送给处理系统,处理系统控制可转动光路反射单元转动以及激光光源出光,激光光源发出的光束对待曝光像素点曝光。本装置及方法,实现了对图形的高精度曝光,节约了激光能量,且提高了曝光精度的一致性。
  • 一种激光直接成像设备方法
  • [发明专利]激光直接成像光学系统-CN202010724658.2在审
  • 祝锁;刘长清;陶帅洋;曹葵康;温延培 - 苏州天准科技股份有限公司
  • 2020-07-24 - 2020-10-02 - G03F7/20
  • 本发明提供一种激光直接成像光学系统,包括:激光光源照明设备;数字微镜器件设备,所述数字微镜器件设备设置在所述激光光源照明设备的上方;光刻成像镜头,所述光刻成像镜头设置在所述数字微镜器件设备的下方,所述光刻成像镜头包括分光棱镜,所述分光棱镜能够将所述激光分成P激光和S激光激光能量追踪设备,所述激光能量追踪设备面对所述光刻成像镜头设置,所述激光能量追踪设备接收所述S激光并对所述S激光的能量进行追踪,并基于追踪的所述S激光的能量生成调节信号,所述激光光源照明设备基于所述调节信号进行调节。根据本发明的激光直接成像光学系统,能够自动化地追踪激光的能量变化,并且及时地进行调整,提高激光能量的稳定性。
  • 激光直接成像光学系统
  • [实用新型]一种激光直接成像设备控制系统-CN202123385700.1有效
  • 陈乃奇;胡学艳 - 深圳市先地图像科技有限公司
  • 2021-12-29 - 2022-05-24 - G03F7/20
  • 本实用新型实施例提供了一种激光直接成像设备控制系统,用于提高激光成像的精度。激光直接成像设备控制系统可包括:图像处理模块、现场可编程逻辑门阵列FPGA以及线性位置编码器组件;其中,线性位置编码器组件安装在激光直接成像设备上,用于检测激光器阵列在水平方向的位置信息;图像处理模块与FPGA电性连接,图像处理模块用于提高原始点阵图像水平方向的分辨率生成修正图像,并将修正图像栅格化生成激光曝光点位置信息;FPGA还与激光器的驱动器以及线性位置编码器组件的数据读取装置电性连接;FPGA通过数据读取装置实时读取激光器阵列的实时位置,并根据激光器阵列的实时位置以及激光曝光点位置信息生成控制激光器开关的控制信号。
  • 一种激光直接成像设备控制系统

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